[21p-P01-1~11] 3.1 Basic optics and frontier of optics (merged with formerly 3.2 Equipment optics and materials)

[21p-P01-3] 3D microfabrication in light-cured resin using CW laser

〇(M1)Masaya Nishio¹, Chikara Egami¹ (1.Shizuoka Univ.)

Keywords:microfabrication

近年、超短パルスレーザーを用いた微細加工が主流となっている。超短パルスレーザーの開発により、局所的な多光子吸収を容易に誘起することが可能になり、回折限界を超える微細加工や材料内部への3次元構造物の形成が可能になった。しかし、それらのレーザーは装置が大型で高価であり、出力も不安定である。そこで、フォトンモードを利用して小型で安価な連続発振レーザー（CW）を用いた高精度な微細加工技術を提案する。