[21p-P01-1~11] 3.1 光学基礎・光学新領域（旧3.2「材料・機器光学」と統合）

[21p-P01-3] CWレーザーを用いた光硬化樹脂に対する３次元微細加工

〇(M1)西尾 雅也¹、江上 力¹ (1.静岡大院総合科学)

キーワード：微細加工

近年、超短パルスレーザーを用いた微細加工が主流となっている。超短パルスレーザーの開発により、局所的な多光子吸収を容易に誘起することが可能になり、回折限界を超える微細加工や材料内部への3次元構造物の形成が可能になった。しかし、それらのレーザーは装置が大型で高価であり、出力も不安定である。そこで、フォトンモードを利用して小型で安価な連続発振レーザー（CW）を用いた高精度な微細加工技術を提案する。