[21p-P12-1~54] 17 Nanocarbon Technology(Poster)

[21p-P12-35] Effect of additive Na₂SO₄ on monolayer MoS₂ synthesis using CVD method

〇(M1)Yuki Goto¹, Akihisa Ogino¹ (1.Shizuoka Univ.)

Keywords:MoS2, flake size, alkali metal

MoS₂の次世代デバイスへの応用には単層膜の大面積化が必要である。MoS₂のCVD合成時にNaClを添加したところ、二次元結晶サイズが増加し、XPS分析の結果、Naが合成に寄与していることが示唆された。本研究では新たな添加剤としてNa₂SO₄に注目し、添加剤NaClとMoS₂合成の影響を比較した。