[21p-P12-1~54] 17 ナノカーボン(ポスター)

[21p-P12-35] CVD法を用いた単層MoS₂合成における添加剤Na₂SO₄の影響

〇(M1)後藤 有生¹、荻野 明久¹ (1.静大院工)

キーワード：二硫化モリブデン、結晶サイズ、アルカリ金属

MoS₂の次世代デバイスへの応用には単層膜の大面積化が必要である。MoS₂のCVD合成時にNaClを添加したところ、二次元結晶サイズが増加し、XPS分析の結果、Naが合成に寄与していることが示唆された。本研究では新たな添加剤としてNa₂SO₄に注目し、添加剤NaClとMoS₂合成の影響を比較した。