[21p-P14-1~16] 2 放射線(ポスター)

[21p-P14-6] 粒子線の精密な線エネルギー付与の測定を目的とした薄膜化型SiC検出器の開発

〇新井 優大^1,2、窪寺 敬¹、山口 皐平¹、横田 凌¹、松本 卓己¹、大島 武²、牧野 高紘²、酒井 真理³、松村 彰彦³、加田 渉¹、星乃 紀博⁴、土田 秀一⁴ (1.群馬大理工、2.量研、3.群馬大重粒子、4.電中研)

キーワード：ショットキーバリアダイオード、炭化ケイ素、薄膜検出器

我々は、放射線耐性に優れた4H-SiC SBDを用いた線量計を提案し、線量推定やRBE推定アルゴリズムを提案している。特に微細な領域において、精密にLET分布を測定するには、検出器体積の微細化が必要である。そこで、本研究では、ワイドバンドギャップ半導体であるSiC半導体の薄膜化と電極構造の微細加工を行うことで、既往の検出器に対して、より高い空間分解能を備えた線量計の実現を目指した。当日はより詳細な測定結果を示す。