[21p-P15-1~6] 6.1 Ferroelectric thin films

[21p-P15-2] Effect of sputtering conditions on lattice distortion and electrical characteristics
of Al_1-xSc_xN thin films

〇Kohei Miyaji¹, Takeshi Yoshimura¹, Takuto Hagiwara¹, Norifumi Fujimura¹ (1.Osaka Met. Univ.)

Keywords:AlScN, internal stress, piezoelectricity

近年、AlN中のAl原子を一部Sc原子に置換したAl_1-xSc_xN(AlScN)薄膜は圧電定数の増加[1]や強誘電性の発現によって注目を集めている。これらの特性は、Sc置換による結晶歪の変化に起因していると先行研究において報告されている。我々はこれまでにスパッタ条件がAlScN薄膜の成長におよぼす影響を調べた結果について報告している。本研究では、プラズマの状態によって格子定数を変化させた薄膜の電気的特性を調べた。