[21p-P15-1~6] 6.1 Ferroelectric thin films

[21p-P15-4] Investigation of ultrasonic sensing by P(VDF-TrFE) Thin Films

〇Kazuki Hiratsuka¹, Takeshi Yoshimura¹, Norifumi Fujimura¹ (1.Osaka Met Univ.)

Keywords:piezoelectric, PVDF

優れた圧電特性や焦電特性を有する有機強誘電体P(VDF-TrFE)は、その柔軟性や低い誘電率から、エナジーハーベスタやセンサ応用への期待が高まっている。本研究では、超音波センシング用途で重要となる正圧電応答によるd₃₃定数の評価、デバイス構造の最適化について検討した。