[21p-P15-1~6] 6.1 Ferroelectric thin films

[21p-P15-6] Microwave-assisted hydrothermal deposition of (K,Na)NbO3 films with different crystal orientation

〇Toshikuni Sakai¹, Yukie Yokota¹, Hiroshi Uchida¹ (1.Sophia Univ.)

Keywords:ferroelectric thin film, potassium sodium niobate, hydrothermal synthesis

応力センサーならびにエナジーハーベスター素子用の圧電材料として環境負荷が比較的に低 い非鉛系材料であるニオブ酸カリウムナトリウム(K,Na)NbO3（KNN）の利用が注目されている。これまでに 我々はマイクロ波加熱式水熱合成により、SrTiO3:Nb などの単結晶基板上で(100)選択配向性を有する KNN厚膜の高速合成に成功している 。この材料の更なる特性向上や分極特性発現機構の検証を最終 目標とし、本研究では結晶配向性が種々の配向性 KNN 厚膜を単結晶基板上に作製し、それらの堆積 挙動や特性の相違について調査を行った。