The 83rd JSAP Autumn Meeting 2022

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6 Thin Films and Surfaces » 6.4 Thin films and New materials

[21p-P16-1~15] 6.4 Thin films and New materials

Wed. Sep 21, 2022 4:00 PM - 6:00 PM P16 (Arena)

4:00 PM - 6:00 PM

[21p-P16-10] Development of tin oxide thin films by room-temperature PLD and solid-phase crystallization under uniaxial compression

Reo Kato1, Hiroki Shoji1, Kenta Kaneko1, Satoru Kaneko2,1, Mamoru Yoshimoto1, Akifumi Matsuda1 (1.Tokyo Tech, 2.KISTEC)

Keywords:solid-phase crystallization, tin oxide, anneal

酸化スズはSnO2やSnO,Sn3O4,Sn2O3 などに加えて,β-SnO と α-Sn3O4 層から なる van der Waals 層状構造とバンド構造の連続的変化も予測されており,エネルギー変換などの 応用も期待されている。本研究では,酸化 スズ薄膜における圧力誘起の結晶相・物性の制御を目的として,アモルファス SnxOy 薄膜の一軸 圧縮下の固相結晶化が結晶核形成と成長,および導電性と光学特性に与える影響を検討した。