[21p-P16-1~15] 6.4 Thin films and New materials

[21p-P16-10] Development of tin oxide thin films by room-temperature PLD and solid-phase crystallization under uniaxial compression

〇Reo Kato¹, Hiroki Shoji¹, Kenta Kaneko¹, Satoru Kaneko^2,1, Mamoru Yoshimoto¹, Akifumi Matsuda¹ (1.Tokyo Tech, 2.KISTEC)

Keywords:solid-phase crystallization, tin oxide, anneal

酸化スズはSnO₂やSnO，Sn₃O₄，Sn₂O₃ などに加えて，β-SnO と α-Sn₃O₄ 層から なる van der Waals 層状構造とバンド構造の連続的変化も予測されており，エネルギー変換などの 応用も期待されている。本研究では，酸化 スズ薄膜における圧力誘起の結晶相・物性の制御を目的として，アモルファス Sn_xO_y 薄膜の一軸 圧縮下の固相結晶化が結晶核形成と成長，および導電性と光学特性に与える影響を検討した。