[21p-P16-1~15] 6.4 薄膜新材料

[21p-P16-10] 酸化スズ薄膜の室温 PLD 合成と一軸圧縮熱処理による固相結晶化

〇加藤 礼雄¹、庄司 拓貴¹、金子 健太¹、金子 智^2,1、吉本 護¹、松田 晃史¹ (1.東工大物質理工、2.神奈川産技総研)

キーワード：固相結晶化、酸化スズ、熱処理

酸化スズはSnO₂やSnO，Sn₃O₄，Sn₂O₃ などに加えて，β-SnO と α-Sn₃O₄ 層から なる van der Waals 層状構造とバンド構造の連続的変化も予測されており，エネルギー変換などの 応用も期待されている。本研究では，酸化 スズ薄膜における圧力誘起の結晶相・物性の制御を目的として，アモルファス Sn_xO_y 薄膜の一軸 圧縮下の固相結晶化が結晶核形成と成長，および導電性と光学特性に与える影響を検討した。