[21p-P16-1~15] 6.4 薄膜新材料

[21p-P16-4] アニール処理による金属/誘電体/金属ナノ光共振器構造の作製

〇高橋 優介¹、木場 隆之¹、川村 みどり¹、阿部 良夫¹ (1.北見工大)

キーワード：局在表面プラズモン、ナノ共振器、プラズモン