[21p-P16-1~15] 6.4 薄膜新材料

[21p-P16-8] GST/VO₂積層構造においてGSTの結晶化がVO₂の転移特性に及ぼす影響

〇(M1)大貫 卓斗¹、沖村 邦雄¹、坂井 穣²、桑原 正史³ (1.東海大院工、2.豊島製作所、3.産業技術総合研究所)

キーワード：薄膜、カルコゲナイド相変化膜