[21p-P18-1~40] 12.3 機能材料・萌芽的デバイス

[21p-P18-27] ジアリールテンの蒸着選択性に基づく有機パターンのマスクレス形成

〇(M1)西村 明梨¹、辻岡 強¹ (1.大阪教大)

キーワード：蒸着選択性、ジアリールエテン、有機パターン

有機エレクトロニクスにおいて有機パターンの微細化は重要な技術である。一般的に低分子有機デバイスはシャドウマスクを用いた真空蒸着プロセスで製作されるが、そのパターン形状や微細化には制限があった。本研究ではジアリールテンのMg蒸着選択性と希酸によるエッチングに基づいた有機材料のマスクレス蒸着プロセスによる有機パターニングを提案する。本プロセスを用いることでOLEDの100μmスケールのELパターンが得られた。