[21p-P18-1~40] 12.3 Functional Materials and Novel Devices

[21p-P18-33] Evaluation of reverse piezoelectric response of P(VDF/TrFE) thin films

〇Keigo Shikata¹, Shohei Horike^1,2, Yasuko Koshiba¹, Kenji Ishida¹ (1.Kobe Univ., 2.JST PRESTO)

Keywords:P(VDF/TrFE)

有機強誘電体P(VDF/TrFE)の薄膜を用いた圧電式生体内マイクロポンプでの薬物輸送に向け、逆圧電特性の基礎評価を行った。圧電定数e₃₁の算出や、AC,DC電圧印加時の素子変形の観察、積層構造化による逆圧電特性の向上を試みた。また、実際の生体内ポンピングを志向し、生体適合性のあるパリレンで素子全体をコーティングしたP(VDF/TrFE)ムーニー型構造素子を作製し、水面上で励振実験を行ったので報告する。