[21p-P18-1~40] 12.3 機能材料・萌芽的デバイス

[21p-P18-33] 医療用マイクロポンプに向けたP(VDF/TrFE)薄膜の逆圧電特性評価

〇紫加田 京瑚¹、堀家 匠平^1,2、小柴 康子¹、石田 謙司¹ (1.神戸大院工、2.JST さきがけ)

キーワード：P(VDF/TrFE)

有機強誘電体P(VDF/TrFE)の薄膜を用いた圧電式生体内マイクロポンプでの薬物輸送に向け、逆圧電特性の基礎評価を行った。圧電定数e₃₁の算出や、AC,DC電圧印加時の素子変形の観察、積層構造化による逆圧電特性の向上を試みた。また、実際の生体内ポンピングを志向し、生体適合性のあるパリレンで素子全体をコーティングしたP(VDF/TrFE)ムーニー型構造素子を作製し、水面上で励振実験を行ったので報告する。