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[21p-P18-38] A Printed Highly Sensitive Pressure Sensor Using Thermally Expandable Microspheres
Keywords:pressure sensor, printed electronics, thermally expandable microspheres
マイクロ構造を有するフレキシブル圧力センサは、軽量で高感度であるため、ウェアラブル化が可能である。一方、当該センサの作製においては、マイクロ構造形成のために鋳型を用いる必要があり、工程が煩雑になりやすいという課題があった。これに対し、印刷による成膜法を採用することでより簡便に上記センサを作製できる。本研究では、熱膨張性微粒子を導入した印刷型圧力センサを作製し、その特性評価を行ったので、報告する。