[21p-P18-1~40] 12.3 機能材料・萌芽的デバイス

[21p-P18-38] 熱膨張性微粒子を用いた印刷型高感度圧力センサの作製

〇(B)堀 真由香¹、兼子 武琉²、Wang Yi-Fei³、関根 智仁^1,2,3、熊木 大介³、時任 静士^1,2,3 (1.山形大工、2.山形大院有機、3.山形大ROEL)

キーワード：圧力センサ、プリンテッドエレクトロニクス、熱膨張性微粒子

マイクロ構造を有するフレキシブル圧力センサは、軽量で高感度であるため、ウェアラブル化が可能である。一方、当該センサの作製においては、マイクロ構造形成のために鋳型を用いる必要があり、工程が煩雑になりやすいという課題があった。これに対し、印刷による成膜法を採用することでより簡便に上記センサを作製できる。本研究では、熱膨張性微粒子を導入した印刷型圧力センサを作製し、その特性評価を行ったので、報告する。