[22a-A102-1~11] 13.5 デバイス／配線／集積化技術

[22a-A102-3] Siナノエサキダイオードの空乏層におけるエネルギー準位を介したトンネル電流の研究

〇田村 悠太¹、モラル ダニエル¹ (1.静大電研)

キーワード：エサキダイオード、シリコンナノワイヤー、ドーパント