[22a-A102-1~11] 13.5 Semiconductor devices/ Interconnect/ Integration technologies

△ [22a-A102-7] S-parameter measurement of a quantum dot and matching circuit design for improvement of RF reflectometry

〇(M1)Ryo Matsuda¹, Jun Kamioka¹, Raisei Mizokuchi¹, Jun Yoneda¹, Tetsuo Kodera¹ (1.Tokyo Tech)

Keywords:RF reflectometry, quantum computer, Silicon spin qubit

高性能なシリコンスピン量子コンピュータの実現には、スピンの高速かつ高感度な読み出しが必要である。そのため本研究では、有望な読み出し技術の1つであるRF反射測定における最適な整合回路を設計した。まず電荷計量子ドットの極低温下でのSパラメータ測定を行い、その結果を基に多段整合回路を設計した。以上の手順により、広帯域なインピーダンス整合を実現し、RF反射測定における帯域と感度の両立が改善しうることを示した。