[22a-A102-1~11] 13.5 デバイス／配線／集積化技術

[22a-A102-8] オンチップマイクロ波クロストークの低減に向けた半導体量子ビットデバイスのコンタクトパッドデザイン

〇泊 開人^1,2、米田 淳¹、小寺 哲夫¹ (1.東工大、2.ニコン)

キーワード：半導体量子ビット、オンチップマイクロ波クロストーク、量子コンピュータ

半導体スピン量子ビットは、量子ビットの大規模集積化の実現に向けた有望な候補の一つである。集積化に向けて、ゲート電極間のオンチップマイクロ波クロストークの低減が重要である。本研究ではシミュレーションを用いて、クロストークのデバイスデザイン依存性を調べた。コンタクトパッドの大きさを120 μm x 120 μmから10 μm x 10 μmへと縮小すると、クロストークが6 GHz で-20 dB 以下にまで低減するシミュレーション結果を得た。