[22a-A202-1~9] 6.2 カーボン系薄膜

[22a-A202-2] 水素化アモルファス炭素膜の摺動による構造変化の逐次評価

〇法月 奏太¹、平田 祐樹¹、大竹 尚登¹、赤坂 大樹¹ (1.東工大工)

キーワード：水素化アモルファス炭素膜

水素化アモルファス炭素膜は高硬さ，低摩擦係数，耐摩耗性を有することから機械の摺動部に用いられている．この摺動特性は膜の構造や周囲環境に依存し，摺動により構造が変化する．本研究では水素化アモルファス炭素膜を鋼と摺動させながらフーリエ変換赤外吸収分光(FT-IR)を用いて膜及び摺動により摺動界面に生成される物質の構造を逐次評価した．