[22a-A402-1~9] 3.4 レーザー装置・材料（旧3.5）

[22a-A402-8] PLDによるNd:YAG薄膜のストイキオメトリーとアンチサイト生成

〇川嶋 一裕¹、高橋 健一郎²、羽田 肇³、鯉沼 秀臣³ (1.（株）信光社、2.（株）コメット、3.SCT（株）)

キーワード：レーザー材料、薄膜、YAG

新規の酸化物レーザー媒質の探索を目標に、パルスレーザー堆積法(PLD)を用いた結晶性の高いレーザー媒質薄膜の製膜に取り組んでいる。Y₃Al₅O₁₂においては、ストイキオメトリーのずれを補償するためにアンチサイト欠陥が生成されることが報告されている。そこで、PLDにより組成を系統的に変化させたNd 1 atm.%ドープYAG薄膜の製膜を行い、アンチサイト欠陥の制御と物性の評価を試みた。