[22a-C101-1~11] CS.5 3.10 フォトニック構造・現象（旧3.11）、3.12 半導体光デバイス（旧3.13）のコードシェア

△ [22a-C101-6] 多波長スローライト面発光レーザアレイを用いた非機械式光偏向器

〇冠者 駿助¹、顧 暁冬¹、小山 二三夫¹ (1.東工大未来研)

キーワード：面発光レーザ、ソリッドステート光センシング、ビームスキャナ

面発光レーザVCSELを用いた非機械式光偏向器において最大偏向角の拡大と解像点数の向上を目的とした2種類のデバイスを作製した．多波長VCSELを並列または縦列に集積したビームスキャナアレイを提案し，最大偏向角をほぼ倍増させることができた．試作した各素子において12°近くの最大偏向角を得ており，これらの構造同士の組み合わせによりさらに最大偏向角を倍増させ，解像点数を向上させることができる．