[22a-C102-1~8] 22.1 合同セッションM 「フォノンエンジニアリング」

[22a-C102-8] 成膜プロセスの変調を通じたアモルファス膜の熱伝導の制御と理解

〇(P)鎮目 邦彦¹、永廣 怜平¹、佐々木 道子^1,2、後藤 真宏²、塩見 淳一郎¹ (1.東大院工、2.物材機構)

キーワード：アモルファス、熱伝導、サーモリフレクタンス法

Si_xN_yの準安定・アモルファス相薄膜をコンビナトリアルスパッタ法によって種々条件下で成膜した。これらの熱伝導率をFDTR及びTDTR法によって計測した結果、Si_xN_y薄膜間で熱伝導率に差異が見られた。このことは成膜条件によって異なる構造の準安定・アモルファス相が発現し、熱伝導率を制御できる可能性を示唆する。TEMによる構造解析の結果と併せ、Si_xN_yの準安定・アモルファス相の構造と熱伝導率の相関について得られた知見を述べる。