[22a-C200-1~10] 15.4 III-V族窒化物結晶

[22a-C200-1] 半極性(10-13)面AlNエピ膜中の微細構造の評価

〇沈 旭強¹、松畑 洋文¹、児島 一聡¹ (1.産総研)

キーワード：窒化アルミニウム、半極性

我々は高温成長可能なアンモニアフリー高温有機金属気相成長法(AFHT-MOCVD)を開発した。この成長技術を用い従来困難であるm面サファイア(10-10)基板上に高品質な半極性(10-13)面AlNエピ膜の成長に成功した。今回、この高品質な半極性面AlN薄膜中の微細構造を評価したので、その結果を報告する。