[22a-C201-1~10] 3.8 テラヘルツ全般（旧3.9）

[22a-C201-3] CdZnTeへの中間赤外線モスアイ反射防止構造の作製と評価

〇枝 泰希¹、塚本 慶人¹、柿原 良多¹、正光 義則²、中岡 俊裕¹、和田 武彦²、中川 貴雄² (1.上智大理工、2.ISAS/JAXA)

キーワード：CdZnTe、モスアイ構造、ウェットエッチング

中間赤外線領域(5～30µm,10-60 THz)が多くの分子の基本振動周波数に相当し，ガス検知から宇宙の固体微粒子の形成・進化の理解に向けた赤外線天文学まで広く研究されている。今回、10～18µmの波長帯にて高い透過率を持つCdZnTeに，ドライエッチングに比べ低ダメージでプロセス後もクリーンであることが期待できるウェットエッチングによりモスアイ構造を作成し、反射防止効果を確認した。