2022年第83回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

3 光・フォトニクス » 3.8 テラヘルツ全般(旧3.9)

[22a-C201-1~10] 3.8 テラヘルツ全般(旧3.9)

2022年9月22日(木) 09:00 〜 11:45 C201 (C201)

有川 敬(京大)、縄田 耕二(東北工大)

09:30 〜 09:45

[22a-C201-3] CdZnTeへの中間赤外線モスアイ反射防止構造の作製と評価

枝 泰希1、塚本 慶人1、柿原 良多1、正光 義則2、中岡 俊裕1、和田 武彦2、中川 貴雄2 (1.上智大理工、2.ISAS/JAXA)

キーワード:CdZnTe、モスアイ構造、ウェットエッチング

中間赤外線領域(5~30µm,10-60 THz)が多くの分子の基本振動周波数に相当し,ガス検知から宇宙の固体微粒子の形成・進化の理解に向けた赤外線天文学まで広く研究されている。今回、10~18µmの波長帯にて高い透過率を持つCdZnTeに,ドライエッチングに比べ低ダメージでプロセス後もクリーンであることが期待できるウェットエッチングによりモスアイ構造を作成し、反射防止効果を確認した。