[22a-C301-1~11] 3.6 レーザープロセシング（旧3.7）

[22a-C301-11] F₂レーザーによる大気下におけるAu表面へのAu₂O₃パターン形成

〇吉田 剛¹、大越 昌幸¹ (1.防大電気電子)

キーワード：真空紫外レーザー、表面改質、金

Auは最も貴な金属として装飾品から電気部品まで幅広い分野において利用されている。一方で、Auの酸化物であるAu₂O₃は高い仕事関数や酸化還元電位持つ一方で熱力学的に不安定であり、生成に強酸化剤や真空条件などが必要である。このためにAu₂O₃はその応用のための研究が敬遠されてきた。本研究ではF₂レーザー(157 nm)により大気中のドライプロセスでAu基板上にAu₂O₃のパターンを形成する手法を報告し、その応用について議論する。