[22a-C301-1~11] 3.6 レーザープロセシング（旧3.7）

[22a-C301-9] ダイヤモンド表面へのフェムト秒レーザ照射とホウ素イオン注入

〇岩浅 郁哉¹、植木 智之¹、富田 卓朗¹、岡田 達也¹ (1.徳島大理工)

キーワード：フェムト秒レーザ、ダイヤモンド、イオン注入

ダイヤモンド表面にフェムト秒レーザを照射して改質を導入し，高温および室温でBイオンを注入した．レーザ照射部および非照射部のイオン濃度分布をSIMSにより測定し，TEMを用いて結晶性を評価した．Bイオン濃度は，高温注入した結晶のレーザ照射部において非照射部の約10倍に達していた．フェムト秒レーザ照射による表面改質の導入が，イオン取り込みを促進する効果をもたらす結果が得られた．