[22a-P03-1~11] 6.6 プローブ顕微鏡

[22a-P03-2] フェーズロックループを用いた走査型トンネル顕微鏡のノイズ低減手法

〇阿部 真之¹、山下 隼人¹、神野 崇馬¹、土岐 博¹ (1.阪大基礎工)

キーワード：走査型トンネル顕微鏡、電源ノイズ、PLL

走査型トンネル顕微鏡の測定において問題となる、電源に起因する信号線のノイズを低減する実験的手法を提案する。測定システムの帯域幅を制限することなくS/N比を向上させることが可能である。信号線に誘導される電源ノイズを打ち消すために、電源線の周波数に同期した正弦波とその高調波を使用する。この同期信号を生成するために、フェーズロックループを用いた。同期信号の振幅と位相を調整し、信号線に付加することで電源ノイズを打ち消す。この方法を走査型トンネル顕微鏡の実験に適用し、画質を向上させることに成功した。