[22a-P04-1~14] 8 プラズマエレクトロニクス(ポスター)

[22a-P04-1] 直列共振型メタマテリアル構造による マルチバンド化設計および周波数特性診断

〇(M1)佐波 陽平¹、水富 拓弥¹、宮城 茂幸¹、酒井 道¹ (1.滋賀県立大工)

キーワード：メタマテリアル、プラズマ、VHF帯

半導体製造におけるプラズマ源においてはマイクロ波電力や高周波電力でプラズマ生成が行われている 。これらの周波数のうち例えば UHF帯 (数 100 MHz)では電子が放電空間に捕獲され、プラズマ生成が高効率化する。一方、我々のグループではメタマテリアルを用いたマイクロ波プラズマの高密度化に成功している。本研究では、UHF帯～VHF帯 (数 10 MHz)にて、プラズマ生成に対するメタマテリアル効果を検討している。