[22p-A105-1~20] 12.7 Biomedical Engineering and Biochips

△ [22p-A105-20] Contact properties between CMOS integrated circuits and CVD graphene

〇Motoki Mitsuishi¹, Yasuhumi Yokoshiki¹, Takashi Tokuda¹, Shunichiro Nagata², Takeshi Watanabe², Shinji Koh² (1.Tokyo Inst., 2.Aoyama Gakuin Univ.)

Keywords:CVD graphene, CMOS sensor

グラフェンは移動度の高さ、外部環境や吸着分子による鋭敏な特性変化などの特徴からセンサとして使用されることが期待されている。我々はグラフェンを CMOS 集積回路センサ上に集積することで、ヘルスケアや環境センシング等に利用できる新しいセンサ技術の開発を目指している。性能評価用 CMOS チップを設計・試作し、単層グラフェンと CMOS チップの集積について基礎検討を行った。