[22p-A105-1~20] 12.7 医用工学・バイオチップ

△ [22p-A105-20] CMOS集積回路とCVD成長グラフェンの接続特性評価

〇光石 幹¹、横式 康史¹、德田 崇¹、永田 駿一郎²、渡辺 剛志²、黄 晋二² (1.東京工業大工、2.青山学院大理工)

キーワード：グラフェン、CMOSセンサ

グラフェンは移動度の高さ、外部環境や吸着分子による鋭敏な特性変化などの特徴からセンサとして使用されることが期待されている。我々はグラフェンを CMOS 集積回路センサ上に集積することで、ヘルスケアや環境センシング等に利用できる新しいセンサ技術の開発を目指している。性能評価用 CMOS チップを設計・試作し、単層グラフェンと CMOS チップの集積について基礎検討を行った。