[22p-A301-1~15] 16.1 基礎物性・評価・プロセス・デバイス

[22p-A301-3] 相変化物質 Cr₂Ge₂Te₆における熱的ナノスケール相変化のSTM観測

〇金 唐逸¹、佐藤 大輝¹、川村 亮太¹、玉置 亮¹、草場 哲¹、王 吟麗²、双 逸³、須藤 祐司^2,3、片山 郁文¹、武田 淳¹ (1.横浜国大院理工、2.東北大工、3.東北大材料科学高等研究所)

キーワード：相変化メモリ、カルコゲナイド薄膜、走査型トンネル顕微鏡