[22p-A306-1~7] 11.5 Junction and circuit fabrication process, digital applications

[22p-A306-3] Fabrication of toggle flip-flop circuits for NbN-based half flux quantum circuits

〇Kenjiro Oba¹, Duong Pham¹, Masamitsu Tanaka¹, Taro Yamashita², Akira Fujimaki¹ (1.Nagoya Univ., 2.Tohoku Univ.)

Keywords:Qubit, Half Flux Quantum Circuits, NbN

量子ビット制御に向け、NbNベースのHFQ-TFF回路の作製および評価を行った。
従来のSFQ回路と比べ、HFQ回路を量子ビットの制御回路として用いることで、低消費電力化が期待される。π接合としてNbN/PdNi/AlN/NbN接合を用い、π接合SQUIDを基本素子としたHFQ-TFF回路の動作実証を目指している。