[22p-A306-1~7] 11.5 接合，回路作製プロセスおよびデジタル応用

[22p-A306-3] NbNベース半磁束量子回路の実現に向けたトグルフリップフロップ回路の作製

〇大場 絢次郎¹、Pham Duong¹、田中 雅光¹、山下 太郎²、藤巻 朗¹ (1.名大院工、2.東北大院工)

キーワード：量子ビット、半磁束量子回路、NbN

量子ビット制御に向け、NbNベースのHFQ-TFF回路の作製および評価を行った。
従来のSFQ回路と比べ、HFQ回路を量子ビットの制御回路として用いることで、低消費電力化が期待される。π接合としてNbN/PdNi/AlN/NbN接合を用い、π接合SQUIDを基本素子としたHFQ-TFF回路の動作実証を目指している。