[22p-A402-1~13] 3.4 レーザー装置・材料（旧3.5）

[22p-A402-13] CO₂レーザー励起の遠赤外レーザー出力鏡の開発

〇中山 和也¹、安原 亮²、田中 謙治²、鈴木 正輝³ (1.中部大工、2.核融合研、3.レーザメイト)

キーワード：遠赤外レーザー、CO2レーザー

核融合プラズマ計測や高感度な遠赤外検出器の開発のために，波長40～120 µm（周波数2.5～7.5 THz）帯のCO₂レーザー励起の遠赤外分子ガスレーザーの高出力化と単一モード化を行っている。本研究では，波長119 µm，71 µmのCH₃OHレーザー用と波長57 µm，48 µmのCH₃ODレーザー用の2種類の出力鏡を設計・製作した。真空蒸着により，高抵抗Si基板上に12層のGe/ZnSと8層のGe/CsIをコーティングした。従来の出力鏡と比較して10 %～50 %程度の出力向上を実現した出力鏡を開発した。