[22p-B203-1~21] 17.1 Carbon nanotubes & other nanocarbon materials

[22p-B203-12] Fabrication of ultra-thin flexible devices with sacrificial layer of graphene oxide

〇Nanaka Yokota¹, Haruki Uchiyama¹, Yutaka Ohno^1,2 (1.Nagoya Univ., 2.IMaSS, Nagoya Univ.)

Keywords:carbon nanotube, graphene oxide, flexible device

人間の皮膚と親和性をもつフレキシブルデバイスの実現に向けて、極薄フレキシブル基板上のカーボンナノチューブ薄膜トランジスタを作製した。耐熱性と耐薬品性の高い酸化グラフェンを剥離層として用いることで、一般的な素子作製プロセスが適用でき、また溶剤を用いず室温で剥離できる。本手法により、高精度の微細パターニングや高品質の絶縁膜形成が可能になり、フレキシブルデバイスの高性能化が期待できる。