[22p-B203-1~21] 17.1 Carbon nanotubes & other nanocarbon materials

[22p-B203-16] Electrical Properties of CNT Network on the SiO₂ Layer by Sputtering

〇Tomo Tanaka^1,2, Toshie Miyamoto^1,2, Megumi Kanaori², Norika Fukuda¹, Ryota Yuge^1,2 (1.NEC, 2.AIST)

Keywords:Carbonnanotube, Bolometer, Infrared Detector

CNTのボロメータ型赤外線検出器への応用に向け、半導体型CNTネットワークの抵抗温度係数(TCR)を評価した。TCRは最大で-6%/Kと、市販のボロメータに用いられている材料よりも大きな値を示した。