[22p-C105-1~17] 1.6 超音波

△ [22p-C105-6] GHz帯パルスエコー法による音響多層膜単体の機械特性評価

〇鈴木 基嗣^1,2、石井 直輝^1,2、近藤 圭太^1,2、柳谷 隆彦^1,2,3,4 (1.早大先進理工、2.材研、3.JST-CREST、4.JST-FOREST)

キーワード：ブラッグ反射器、SMR、パルスエコー法

音響多層膜共振子(SMR: Solidly Mounted Resonator) は基板に薄膜が固定されているため、高周波・大電力化が可能なRFフィルタとして期待されている。ここで、SMRの共振特性は圧電膜の電気機械結合特性と反射器の機械特性の両方を含み、両者の分離は困難である。以前、我々はサロールカプラを用いた超音波パルスエコー法による反射器単体の機械特性抽出法を提案した。しかし、サロール内での減衰により反射器から返ってくる信号が弱くなると、測定が難しくなることがわかっている。本研究では、S/N比を高めるため、音響減衰の小さいSiO₂カプラを利用した。