[22p-C105-1~17] 1.6 Ultrasonics

△ [22p-C105-8] Effect of lateral propagation on extraction of mechanical Q factor of the piezoelectric films without removing substrate

〇Yuki Shimizu^1,2, Yanagitani Takahiko^1,2,3,4 (1.Waseda Univ,, 2.ZAIKEN, 3.JST-CREST, 4.JST-FOREST)

Keywords:BAW filter, Q factor, Piezooelectric thin film

スマートフォン向けのRFフィルタでは無線バンドが密接しており、高い急峻性 (Q値)が要求される。我々のグループは以前に、基板のQ_m値をリファレンスとして、基板付き薄膜構造から圧電薄膜のQ_m値を抽出する手法を提案している。本研究では、音波の横方向への伝搬が本手法で抽出されるQ_m値に与える影響について調べた。また、周囲に溝を作った島状の電極構造が横方向への伝搬の抑制に効果的であることを実験的に確認した。