[22p-C205-1~15] CS.1 2.3 加速器質量分析・加速器ビーム分析 、7.5 イオンビーム一般のコードシェア

[22p-C205-12] 反応性ガスクラスターインジェクションによるGaNエッチング

〇瀬木 利夫¹、山本 洋揮²、小池 国彦³、青木 学聡⁴、松尾 二郎¹ (1.京大院工、2.量研高崎、3.岩谷産業、4.名大)

キーワード：クラスター、中性ビーム、半導体