[22p-C205-1~15] CS.1 2.3 加速器質量分析・加速器ビーム分析 、7.5 イオンビーム一般のコードシェア

[22p-C205-7] 窒化シリコン膜へのGCIB照射による低損傷照射効果の検討

〇竹内 雅耶¹、藤原 怜輝¹、豊田 紀章¹ (1.兵県大工)

キーワード：クラスターイオンビーム、X線光電子分光