[22p-C301-1~17] 3.6 レーザープロセシング（旧3.7）

[22p-C301-3] F₂レーザーによるAl₂O₃薄膜の形成

〇(M1)奥園 聡史¹、吉田 剛¹、大越 昌幸¹ (1.防衛大電気電子)

キーワード：F2レーザー、Al薄膜、Al2O3薄膜