3:45 PM - 4:00 PM
[22p-M206-9] Data assimilation for engineering utilizing domain knowledge (ii)
-Application to solution growth simulation of SiC-
Keywords:Data assimilation, Semiconductor, Simulation
SiC溶液成長法における熱流体解析の高精度化に向け、実験者とシミュレーション使用者の専門知識を取り入れたデータ同化手法を提案し、それを用いて高温のSi溶液の物性値推定を行った。