[22p-P01-1~5] 3.7 Optical measurement, instrumentation, and sensor (formerly 3.8)

[22p-P01-1] Optical vortex interferometer using multiple wavelengths

〇(M1)Ayato Takashima¹, Yuu Tokizane², Eiji Hase², Takeshi Yasui^1,2 (1.Tokushima Univ., 2.pLED,Tokushima Univ.)

Keywords:optical vortex, multiple wavelengths, Interferometry

光を用いた三次元計測は、非接触・非破壊で物体の形状を光のサプ波長オーダーで測定可能なため、工業計測など様々な分野に有用である。光渦位相計測は光渦と呼ばれる螺旋状の波面を有する光を用いた位相計測手法である。しかし本手法で再現される高さ分布は、光の一波長の高さで位相の折り返しを生じるため測定高さ範囲に制限が生じる。そこで本研究では複数波長の光渦を用いた、合成波長光渦による高さ測定範囲の拡大を検討する。