[22p-P07-1~15] 6.3 酸化物エレクトロニクス

[22p-P07-14] 透明アンテナ用ITO導電膜のアニール処理によるシート抵抗の低減とアンテナの放射効率改善

〇山田 友里¹、越地 福朗¹、安田 洋司¹、山田 勝実¹、内田 孝幸¹ (1.東京工芸大学大学院)

キーワード：ITO導電膜、アンテナ