[22p-P09-1~4] 15.1 バルク結晶成長

[22p-P09-4] 混晶バルクSiGe結晶の物性計測

〇荒井 康智¹、片野 佳文²、椿 浩二²、内田 茂樹² (1.宇宙機構、2.TOPCON)

キーワード：結晶成長、赤外線レンズ

赤外線レンズへの応用を検討しているp型SiGe合金結晶について、赤外線吸収率の電気抵抗依存性およびナノインデンテーション硬度の組成依存性について報告を行う。