[22p-P12-1~3] 15.7 結晶評価，不純物・結晶欠陥

[22p-P12-3] 時分解フォトルミネッセンス法を用いた超格子構造導入によるAlGaN量子井戸からの発光への効果の評価

〇鎌田 昇平¹、鎌田 憲彦¹、八木 修平¹、矢口 裕之¹ (1.埼玉大院理工)

キーワード：超格子、時分解フォトルミネッセンス、AlGaN

深紫外AlGaN系発光デバイスは, 殺菌・浄水, 医療, 生化学産業などの幅広い分野への応用が考えられ，その実現と高性能化が期待されている。AlGaN系発光デバイスの発光効率は, 超格子構造を用いることで改善するが, 超格子周期を変化させることでその改善に違いが現れることがわかっている。本研究では, AlGaN量子井戸による発光の超格子周期依存性を時分解フォトルミネッセンス（PL）法を用いて評価した。