[22p-P13-1~28] 12.1 作製・構造制御

[22p-P13-27] 電子アシスト蒸着によるフッ素系シラン薄膜の強度改善

〇児嶋 宏紀¹、田中 邦明¹、臼井 博明¹ (1.農工大院工)

キーワード：薄膜