[23a-A202-1~10] 6.2 Carbon-based thin films

△ [23a-A202-10] Fabrication of Diamond SQUID using Conductive Ridgeline Josephson Junction

〇(B)Yutaro Hashimoto¹, Chiyuki Wakabayashi¹, Yasuhiro Takahashi¹, Taisuke Kageura^1,2, Yoshihiko Takano³, Minoru Tachiki³, Shuuichi Ooi³, Shunichi Arisawa³, Hiroshi Kawarada^1,4 (1.Waseda Univ., 2.AIST, 3.NIMS, 4.Waseda Materials lnst.)

Keywords:Diamond, SQUID, Josephson Junction

超伝導ダイヤモンドを用いたジョセフソン接合(JJ)の微細化に際して、エッチングダメージの影響を受けないJJの構造として稜線伝導構造を新たに提案する。本構造は側壁に成長する結晶方向の異なるTc の低い層によって、稜線上に超伝導電流の流路を制限する構造である。本研究では稜線伝導を用いた線幅3 μmまでのJJと、このJJを用いた超高感度磁気センサである超伝導量子干渉計(SQUID)を作製しその動作を実証した。